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洁净室测试方法

发布时间:2020-05-22

广州精晖机电工程有限公司技术中心


A风量或风速的检测

1.1 对于单向流洁净室,采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量。

离高效过滤器0.3m,垂直于气流的截面作为采样测试截面,截面上测点间距不宜大

于0.6m,测点数不应少于5 个,以所有测点风速读数的算术平均值作为平均风速。

1.2对于非单向流洁净室,采用风口法或风管法确定送风量,做法如下:

1 风口法是在安装有高效过滤器的风口处,根据风口形状连接辅助风管进行测

量。即用镀锌钢板或其他不产尘材料做成与风口形状及内截面相同,长度等于2 倍

风口长边长的直管段,连接于风口外部。在辅助风管出口平面上,按最少测点数不

少于6 点均匀布置,使用热球式风速仪测定各测点之风速。然后,以求取的风口截

面平均风速乘以风口净截面积求取测定风量。

2 对于风口上风侧有较长的支管段,且已经或可以钻孔时,可以用风管法确定

风量。测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前3 倍管径或长边长,局部阻力部

件后5 倍管径或长边长的部位。

对于矩形风管,是将测定截面分割成若干个相等的小截面。每个小截面尽可能

接近正方形,边长不应大于200mm,测点应位于小截面中心,但整个截面上的测点

不宜少于3 个。

对于圆形风管,应根据管径大小,将截面划分成若干个面积相同的同心圆环,

每个圆环测4 点。根据管径确定圆环数量,不宜少于3 个。

B 静压差的检测

2.1 静压差的测定应在所有的门关闭的条件下,由高压向低压,由平面布置上与

外界最远的里间房间开始,依次向外测定。

2.2 采用的微差压力计,其灵敏度不应低于2.0Pa。

2.3有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室,其洞口处应有合理的气流流向。洞口

的平均风速大于等于0.2m/s 时,可用热球风速仪检测。

C空气过滤器泄漏测试

3.1 高效过滤器的检漏,应使用采样速率大于1L/min 的光学粒子计数器。D 类高

效过滤器宜使用激光粒子计数器或凝结核计数器。

3.2采用粒子计数器检漏高效过滤器,其上风侧应引入均匀浓度的大气尘。


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